PE-100 桌上型電漿清潔設備

型號:PE-100

*客製化的電極配置,RIE(反應離子蝕刻)和溫度控制。
*腔體為全鋁製成,包含三層電極。



PE-200 桌上型電漿清潔設備

型號:PE-200

PE-200是完整的工業級電漿清潔設備,能夠進行電漿清潔、蝕刻、反應離子蝕刻(RIE)等。

專為連續生產而開發的系統,可不需停機。
用電漿處理進行表面處理可提高清潔均勻性,並減少或免除不必要的昂貴的化學品及廢液。
通過簡單易用的觸控操作界面,並提供安全可重複的流程。